运行面板总览 (Running Panel Overview)
“运行面板”是工艺大师模块的操作中枢。它整合了实时监控、参数调整和分析反馈，使工艺工程师能够在一个界面内完成从“发现偏差”到“修正参数”的全流程闭环。
界面布局
面板采用多窗口联动布局，核心组件包括：
1. 靶位仪表阵列 (Target Dashboard)
- 以图形化图标展示镀膜线上每一个物理靶位。
- 实时显示：各靶位的功率（P）、流量（F）和运行状态。
- 层关联标识：通过颜色或标签标出该靶位负责生产膜系中的哪一层。
2. 核心分析区 (Analysis Area)
- 光谱视图：实时对比测量谱、标准谱与计算谱，直观显示光学性能偏差。
- 膜厚分布图：对比标准厚度、反演（实测）厚度和由于参数变动引起的预测厚度。
3. 操作控制台
- 配置切换：快速切换“运转配置”和“模块配置”。
- 运行记录：一键保存当前全线状态。
典型操作流程
第一步：环境初始化
- 在右侧菜单加载 运转配置，确定当前生产哪个产品。
- 加载 模块配置，恢复个人习惯的图表和路径设置。
第二步：数据导入与反演
- 通过 导入光谱 组件加载最新的测量数据。
- 触发 膜厚反演，利用光谱数据计算出全线各点位的实际产出厚度。
第三步：参数评估与调优
- 查看 膜厚分布图，若实测厚度相对于标准厚度存在偏差（如 Layer 2 偏薄 5%）：
- 打开 参数调整面板。
- 修改 2 号层的相关靶位功率或整线速度。
- 观察 预测曲线 是否回到标准线上。
- （可选）使用 规划求解 自动计算推荐参数。
第四步：反馈应用
- 确认调整后的参数无误。
- 点击 应用参数，将新数值同步到当前生产环境。
- 点击 保存运行记录，对本次调机操作进行存档。
注意事项
- 数据刷新：主面板的所有计算都是基于内存中的“当前状态”。如果您修改了靶位配置或膜系设计，请记得重新激活运转配置以完成同步。
- 联动性：在该面板关闭子窗口（如光谱图）可通过配置菜单重新唤起。
- 安全锁：执行“应用参数”前请务必确认当前机器处于可控状态，大规模的参数突变可能导致溅射不稳定。 寿命上限；请定期更新寿命数据避免误判。
- 运行时间统计从"最后一次点击开启"时刻计算，如因断网等原因中断，需人工核对。