效率优化指南 (Efficiency Optimization)

效率优化并非一个独立的静态模块，而是通过“规划求解”引擎实现的多目标寻优过程。其核心是在保证光学性能（光谱/颜色）达标的前提下，寻找走速最快或能耗最低的工艺组合。

核心逻辑

效率优化主要依赖“参数调整”面板中的 规划求解 (Solver) 功能，通过以下变量联动实现：

1. 提升产能 (走速寻优)：

   • 设定目标：保持当前各层反演出的目标膜厚不变。
   • 设定变量：将 玻璃走速 设为可变，同时将所有在线靶位的 功率 设为可变。
   • 求解结果：系统会尝试在靶位功率上限范围内，推算出所能达到的最高走速。

2. 均衡寿命 (功率分配)：

   • 如果某层由多个靶位负责，可通过调整它们的“效率贡献比例”，将负载更多地分配给剩余厚度较厚的靶材，从而延长整线运行时间。

操作步骤

1. 校准模型：执行“膜厚反演”，确保当前系统对各靶位的速率系数（Rate Factor）掌握准确。
2. 进入调整面板：打开“参数调整”视图。
3. 配置优化目标：
   • 在膜厚列输入标准设计厚度。
   • 在参数列，勾选 走速 和相关 靶位功率。
4. 设置健康约束：
   • 检查各靶位的功率上限（防止过载）。
   • 设置走速最高限。
5. 执行优化：点击 优化求解。
6. 应用方案：审阅求解出的高走速组合，确认无误后点击“应用参数”，并观测实时光谱反馈。

注意事项

• 线性假设：规划求解算法默认功率与速率成线性关系。在极端高功率或反应溅射的“突变区”，建议分步小幅调整。
• 多位置折中：均匀性不佳时，优化算法会尝试在所有位置间寻找误差平方和（Merit）最小的解，这可能导致部分位置虽效率提升但颜色偏移增大。
• 设备余量：优化结果若长期让电源运行在 95% 以上负荷，会缩短硬件寿命。