速率系数和运行参数
“速率系数”是系统进行厚度预测和参数调优的物理基准。它记录了在特定硬件条件（功率、气压、磁场）下，靶位产生的实际沉积速率。
介绍
每一条速率系数记录都是一次“标定试验”的结果，包含以下核心信息：
- 基准工艺条件：
- 功率 (Power)：试验时的设定功率。
- 气体 (Gas)：主气、辅助气的流量。
- 走速 (Speed)：试验时的走速（通常固定为某值）。
- 空间分布效率 (Rate Factor Map)：
- 记录不同 测试位置 (Position) 测得的实际膜厚或速率系数。
- 这反映了靶位在真空腔室内的横向均匀性特征。
- 环境信息：靶材成分、与基板的距离（TS Distance）、靶材消耗深度等。
操作方法
- 执行标定产线：在实际产线上以固定参数生产单层膜。
- 测量与计算：测量全线各位置的实际厚度。
- 录入数据：
- 进入 数据管理 → 速率原始数据。
- 新建记录，填写当时的功率、走速。
- 在“速率系数”表格中，填写各位置的实测值。
- 关联应用：在 靶位配置 中关联本条原始数据。系统随后在“调整面板”中会自动根据此基准进行线性或非线性外推。
注意事项
- 速率系数的准确性直接影响参数调整建议的质量，建议在每次靶材换新或工况变化较大后重新标定。
- 系统以靶位横截面坐标为维度存储速率系数曲线，可反映靶位沿宽度方向的非均匀性。