紹介

反演フィッティングは通常、コーティングライン稼働時に取得した測定スペクトルを、標準膜系構造に基づいて逆算し、実際に形成された膜構造を推定するために使用します。

コーティングラインは稼働中の 1 分 1 分が重要であるため、反演の速度と精度は生産効率と製品品質に直結します。継続的な最適化が重要です。

反演フィッティングモジュールは、実測スペクトルから各膜層の実厚を高速に推定し、調整案を提示して調整時間を短縮します。

画面構成

右から順に、操作バー、膜系テーブル、カラーテーブル、スペクトルカーブ表示領域で構成されます。

主な機能

測定スペクトルと標準膜系構造に基づいて、実際の膜厚を推定します。

工程運転設定をバインドしている場合、実膜厚と標準膜系構造から調整案を推定できます。

手順

注意事項

• 事前準備：比較対象スペクトル（標準スペクトル）、表示カーブ、比較色を事前に整理し、不適切な項目を除外してください。
• 設定精度：標準膜系・材料設定の正確性が重要です。設定が不正確だと収束不良や満足できる結果が得られない原因になります。
• 測定精度：測定スペクトル品質は反演精度に強く影響します。不合理な測定結果は除外または重みを下げて扱ってください。
• スペクトル重視：判断は色だけでなく、スペクトルの一致度を重視してください。
• 継続的改善：感度の高い膜層を重点的に検証し、合理的な調整範囲を蓄積してください。