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0. 屈折率フィッティングモジュールを開く
屈折率フィッティングモジュールは次のいずれかの方法で開けます。
メインメニュー > 膜系 > 屈折率フィッティングホーム > 屈折率フィッティング
1. フィッティングモードを選択
フィッティングモードは「単層膜」と「保護層付き単層膜」の 2 種類です。実際の材料条件に応じて選択してください。
1.1 単層膜
このモードは SiO2、TiO2、Al2O3 など、膜材料が比較的安定なケースに適しています。
基板材料の屈折率が既知である必要があります。不明な場合は先に基板屈折率をフィッティングしてください。
1.2 保護層付き単層膜
このモードは Ag、Al、Cu など、環境影響を受けやすい金属膜・合金膜に適しています。
保護層選定の主な条件：
- 材質が安定している（組成と屈折率が安定）
- 成膜速度が安定している（再現性が高い）
- 透過率が高い
- 屈折率が既知である
このモードでは基板屈折率と保護層屈折率の両方が既知である必要があります。不明な場合は先にそれぞれをフィッティングしてください。
2. サンプル準備
2.1 膜厚
実測スペクトルが端点（極大値/極小値）に偏らないサンプルを選びます。
3. 測定データ
3.1 オンライン測定
設定済みのオンライン測定装置を使用します。データ形式は装置により異なります。
3.2 オフライン測定
一般的には Lambda 900 シリーズ分光光度計を使用し、データ形式は CSV です。
4. データ読込とスペクトル目標設定
測定スペクトルをスペクトル目標に変換します。
5. 初期値設定
理論値または経験値に基づいて屈折率の初期値を設定します。
6. フィッティング実行
フィッティングボタンをクリックすると処理を開始します。
7. 結果確認
結果は一覧として保存されます。目的関数値を基準に適切な結果を選択し、読込 でメイン画面へ適用します。
8. 結果保存
フィッティング層の右矢印から屈折率テーブルを開き、TXT 保存やデータベース保存を行います。