実践例：保護層なし単層材料の屈折率フィッティング

本例では、測定スペクトルから単層透明材料（例：SiNx）の屈折率と膜厚を推定する手順を示します。

1. モジュール起動と設定読込

まず 屈折率フィッティングモジュールを開く を参照し、モジュールを開きます。

次に右側操作バーから 屈折率フィッティング設定のダウンロード を実行し、代表的なテンプレートを読み込みます。

2. 測定スペクトルの読込

1. 右側操作バーで スペクトル読込 をクリックします。
2. 手動 タブで読込先・データソースを選択します。
3. データベースから対象スペクトルを選び、確定 します。

3. スペクトル目標の生成

1. スペクトル目標 を開きます。
2. スペクトル目標生成 をクリックし、スペクトルを使用 を選択します。
3. 読込済みスペクトルを選び、目標を生成して 確定 します。

4. フィッティング条件の設定

• 保護層なしモードを選択
• 膜厚探索範囲を設定（例：20–50 nm）
• 初期屈折率と補正値を設定
• 停止条件（目的関数しきい値、最大反復回数）を設定
• アルゴリズムに Filmstar を選択

5. 実行と結果適用

1. 最適化 を実行します。
2. 履歴 で結果を確認し、適切な結果を 読込 します。
3. 必要に応じて結果をデータベースへ保存します。