鍍膜線模組總覽
鍍膜線模組用於定義實體設備拓撲與運轉映射資料，供工藝執行與分析模組使用。
範圍
本模組聚焦於與工藝相關的生產資料物件，主要包含：
- 鍍膜線結構與分段定義。
- 設計層到實體段位的運轉映射。
- 靶位配置與靶位運轉參數。
- 測量位置配置與運行記錄。
為什麼重要
鍍膜線資料是連接設計模型與生產執行的橋樑。
若這些資料物件不完整或不一致，下游模組可能無法正常運作。
資料依賴流程
- 建立測量位置。
- 配置鍍膜線結構。
- 配置靶位物件與材料/氣體/電源資源。
- 建立設計層與段位之間的運轉映射。
- 儲存運轉時靶位參數快照。
- 執行流程並落庫運行記錄。
建議使用方式
- 先在鍍膜線模組完成並驗證所有資料庫物件。
- 在 Process Master 與相關運轉頁面重用這些物件。
- 保持命名規範穩定，便於歷史追溯。