膜厚对比显示
膜厚对比显示组件用于并排比较两套膜厚数据,直观展示"实际 vs 目标"或"调整前 vs 调整后"的差异,是评价膜厚合格性的核心视图组件。
介绍
对比显示组件同时展示两条(或多条)膜厚分布曲线:
- 主曲线:如反演膜厚(当前实际状态)
- 对比曲线:如标准膜厚(设计目标)或预测膜厚(调整后预期)
两者的差异可以计算并叠加显示:
- 绝对误差:各位置实际值与目标值的差(nm)
- 相对误差:各位置差值/目标值(%)
横向位置的交集/并集模式可在工具栏中切换。
膜厚对比显示组件用于并排比较两套膜厚数据,直观展示"实际 vs 目标"或"调整前 vs 调整后"的差异,是评价膜厚合格性的核心视图组件。
对比显示组件同时展示两条(或多条)膜厚分布曲线:
两者的差异可以计算并叠加显示:
横向位置的交集/并集模式可在工具栏中切换。