运转记录 (Running Record)
“运转记录”是系统在特定时间点生成的全线工艺状态快照。它不仅记录了参数，还保存了与之关联的光谱和反演分析结果，是历史追溯和模型训练的数据源。
介绍
运转记录分为两个维度进行存储，以支持不同层级的分析：
1. 镀膜线运行记录 (Coating Line Running Record)
记录全线的宏观状态：
- 时间与人员：何时由谁生成的记录。
- 汇总数据：全线走速、生产批次、使用的运转配置。
- 光谱快照：本记录关联的所有横向测试位置的光谱曲线。
2. 靶位运行记录 (Coating Target Running Record)
细化到每个物理靶位的实时表现：
- 实际功率/流量/磁钢位置。
- 分析结果：通过该记录关联的光谱反演出的实际膜厚。
- 标定价值：通过本记录计算出的速率系数 (Rate Factor) 横向分布。
操作方法
- 自动保存：在工艺大师主面板执行“保存运行记录”操作，系统将同步抓取当前参数、光谱和反演厚度。
- 查询历史：
- 进入 数据管理 → 镀膜线运行记录 查看宏观列表。
- 选中一条记录，可点击查看其详情并在“光谱视图”中回放历史曲线。
- 数据应用：
- 加载历 史记录可将其参数回写到当前面板（作为对比）。
- 提取多条历史记录的速率系数，可分析靶材随寿命变化的衰减趋势。
注意事项
- 完整性：一份有价值的运转记录必须包含关联的光谱。如果仅保存参数而无光谱，将无法进行后续的厚度对比和速率校准。
- 只读性：已生成的运行记录无法修改其实时数值，只能修改备注信息，以保证工艺追溯的真实性。
- 存储压力：由于包含光谱曲线数据，长时间、高频率的记录会占用较大磁盘空间，建议定期清理无效的测试记录。